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EUV，X射線波前探測器（X射線光束分析儀）

簡要描述：該款EUV，X射線Hartmann-Shack波前傳感器配置是為全面分析激光束和光學(xué)特性而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)采用微透鏡陣列將入射波分成大量的子射線（如右下圖），每個(gè)焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置由CCD相機(jī)獲取，經(jīng)后續(xù)計(jì)算重構(gòu)得到光強(qiáng)分布和波前分析。EUV，X射線波前探測器（X射線光束分析儀）

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更新時(shí)間：2025-07-25
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EUV，X射線波前探測器（X射線光束分析儀）

該款EUV，X射線Hartmann-Shack波前傳感器配置是為全面分析激光束和光學(xué)特性而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)采用微透鏡陣列將入射波分成大量的子射線（如右下圖），每個(gè)焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置由CCD相機(jī)獲取，經(jīng)后續(xù)計(jì)算重構(gòu)得到光強(qiáng)分布和波前分析。

主要特點(diǎn)：

EUV，X射線波前探測器（X射線光束分析儀）

該款EUV，X射線Hartmann-Shack波前傳感器配置是為全面分析激光束和光學(xué)特性而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)采用微透鏡陣列將入射波分成大量的子射線（如右下圖），每個(gè)焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置由CCD相機(jī)獲取，經(jīng)后續(xù)計(jì)算重構(gòu)得到光強(qiáng)分布和波前分析。

主要特點(diǎn)：

該款EUV，X射線Hartmann-Shack波前傳感器配置是為全面分析激光束和光學(xué)特性而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)采用微透鏡陣列將入射波分成大量的子射線（如右下圖），每個(gè)焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置由CCD相機(jī)獲取，經(jīng)后續(xù)計(jì)算重構(gòu)得到光強(qiáng)分布和波前分析。

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