| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圓）
--- 適用于12英寸大型基板曝光
ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高達70W的i線(365nm)曝光,高達80W的寬帶曝光（350-450nm）,適用于均勻度較高以及準直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已廣泛試用在掩膜對準系統(tǒng)，步進系統(tǒng)(封裝）,準直曝光系統(tǒng)及大功率輻射要求的固化系統(tǒng)，ALE/2系列UV-LED曝光光源已成為半導體光刻制造及檢測領域中的一個理想工具。
ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外點光源，適用于需要均勻和準直輻射的大型基材工業(yè)泛光曝光工具。這些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模對準器。它的紫外線輸出足夠強大，可以為更大的裝置提供動力，正方形曝光面積可達400 X 400毫米，在某些情況下，甚至超過這個范圍。ALE/2采用UV-LED技術，具有優(yōu)異的輸出穩(wěn)定性和靈活的光譜控制，優(yōu)于傳統(tǒng)的高壓汞放電燈。此外，它還消耗更少的電力，產(chǎn)生更少的熱量，持續(xù)時間更長，并且不需要太多的整體維護。
ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中組合四個反饋控制的高功率UV-LED。可提供i線（CWL 365 nm）和寬帶（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在純i線工藝中，ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美額定功率高達5,000 W的傳統(tǒng)放電汞燈光源。對于寬帶模式，ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可與2,000 W放汞燈光源相媲美。
ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式設計方法，通常由一個控制子系統(tǒng)（CSS）+一個單獨的曝光子系統(tǒng)（ESS）組成。ESS 的標準光出口是一個 16 mm X 16 mm 的光管 ，光引擎可以與標準和定制的聚光光學元件結合使用，以實現(xiàn)高度均勻的曝光。
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圓）應用場景：
| 半導體光刻制造（12英寸大基板） | 光固化應用和其他 |
| 掩膜對準系統(tǒng) | 大面積光固化（400mm） |
| 步進系統(tǒng)（封裝） | 高輻射劑量固化應用 |
| 準直曝光系統(tǒng) | 紫外成像 |
| 晶圓光刻曝光 | |
| 晶圓缺陷檢測 |
ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特點：
內(nèi)置解決方案可實現(xiàn)更高曝光效率和性能；
高達70W的純i線曝光（365nm）;
高達80W的寬帶模式曝光（350-450nm）;
閉環(huán)光控制輸出；
無汞，綠色光源；
無需外部冷卻，更節(jié)能；
ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：
ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源規(guī)格參數(shù)：
| 發(fā)光單元選項 | 多大4個波長，如365nm, 385nm，405nm,435nm |
| 輸出功率 | up to 80W@寬帶， up to 70W@i線-365nm |
| 數(shù)值孔徑 | NA 0.3(2a ~35°) 配合標準聚光鏡 （condenser） |
| 控制配置 | 1、獨立的LED電源管理和預設； 2、高分辨率強度調(diào)整（10%-100%）； 3、LED上升時間<1ms； 4、持續(xù)監(jiān)控光輸出和反饋控制； |
| 通訊接口 | 1、離散PLC接口（TTL）； 2、USB(串行)； 3、以太網(wǎng)/MOdbuS TCP/IP （可選）； |
| 熱管理 | 1、帶內(nèi)部散熱器的液體冷卻（Standard mode）； 2、外部冷卻器（可選項），（performance mode ）; |
| 尺寸（W H D） | ESS 21 x 21 x 36cm ； CSS 44 x18 x 37cm ; |
| 重量 | ESS 4Kg ; CSS 10Kg ; |
| 電源輸入 | 110-240V/ 50-60Hz / 1500W |
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